臭氧發生器采用空氣或氧氣為原料利用高頻高壓放電產生臭氧。臭氧比氧分子多了一活潑的氧原子臭氧，化學性質特別活潑，是一種強氧化劑，在一定濃度下可迅速殺滅空氣中的細菌。沒有任何有毒殘留，不會形成二次污染。
按臭氧產生的方式劃分，目前的臭氧發生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線照射式，三是電解式。
臭氧發生器設計要點
1.使用高介電常數的材料制造電極，提高加工精度。
2.改善冷卻條件，采用水冷或雙極冷卻。
3.降低氣源露點，提高氣源潔凈度。
4.提高臭氧電源的驅動頻率，降低電耗。
5.采用智能控制，并對運行工況再線監測。
臭氧發生器選型非常重要應從以下幾個方面進行選型：
1.確定臭氧發生器的型號即臭氧產量。采購臭氧發生器時首先要確定其使用用途，是用于空氣滅菌除味還用于水處理。用于空氣處理時可選擇低濃度經濟型的開放式臭氧發生器，它包括有氣源開放式和無氣源開放式兩種選有氣源機型。該類臭氧發生器結構簡單價格低廉，但工作時溫度和濕度影響臭氧發生量。可根具空間大小換算即得出臭氧的總用量（即臭氧發生器產量）。用于水處理時須選購高濃度臭氧發生器（臭氧濃度大于12mg/L），低濃度臭氧處理水是無效的。高濃度臭氧發生器為標準配置含氣源及氣源處理裝置和臭氧發生裝置。小型的可設計成一體式機型產量在5-200g/h間，大中型臭氧發生器基本以機組形式存在。
2.鑒別臭氧發生器的品質。臭氧發生器品質的優劣可從制造材料、系統配置、冷卻方式、工作頻率、控制方式、臭氧濃度、氣源和電能消耗指標等多方面鑒別。臭氧發生器應是高介電材料制造、標準配置（含氣源和凈化裝置）、雙電極冷卻、高頻驅動、智能控制、高臭氧濃度輸出、低電耗和低氣源消耗。
3.性價比。臭氧發生器從設計到配置及制造材料均按其標準進行，成本遠高于低檔發生器和低配置發生器。但臭氧發生器性能非常穩定，臭氧濃度和產量不受環境因素影響。而低配置臭氧發生器工作時受環境影響較大，溫度和濕度的增加可使臭氧產量和濃度大幅度下降，影響處理效果。選購時應對其售價和性能進行綜合比評。
